（1）熟悉系統(tǒng)：要詳細了解系統(tǒng)狀態(tài)及各種參數(shù)，繪出工藝流程圖或布置圖。

（2）調(diào)查事故：收集事故案例，進行事故統(tǒng)計，設想給定系統(tǒng)可能發(fā)生的事故。

（3）確定頂上事件：要分析的對象即為頂上事件。對所調(diào)查的事故進行全面分析，從中找出后果嚴重且較易發(fā)生的事故作為頂上事件。

（4）確定目標值：根據(jù)經(jīng)驗教訓和事故案例，經(jīng)統(tǒng)計分析后，求解事故發(fā)生的概率（頻率），以此作為要控制的事故目標值。

（5）調(diào)查原因事件：調(diào)查與事故有關的所有原因事件和各種因素。

（6）畫出故障樹：從頂上事件起，逐級找出直接原因的事件，直至所要分析的深度，按其邏輯關系，畫出故障樹。

（7）分析：按故障樹結(jié)構(gòu)進行簡化，確定各基本事件的結(jié)構(gòu)重要度。

（8）事故發(fā)生概率：確定所有事故發(fā)生概率，標在故障樹上，并進而求出頂上事件（事故）的發(fā)生概率。

（9）比較：比較分可維修系統(tǒng)和不可維修系統(tǒng)進行討論，前者要進行對比，后者求出頂上事件發(fā)生概率即可。

（10）分析：原則上是上述10個步驟，在分析時可視具體問題靈活掌握，如果故障樹規(guī)模很大，可借助計算機進行。目前我國故障樹分析一般都考慮到第7步進行定性分析為止，也能取得較好效果。