1）超聲波波聲強：一般選擇在1—2W每平方厘米，聲強增大時，空化泡核形成的最大直徑與初始直徑比值加大，使空化強度增大，空穴數量也增多；但過高的聲強，會在換能器附近的液中產生過于密集的空穴形成一道音障，阻礙了超聲波的傳遞，反過來不利于洗凈能力的發(fā)揮。
2）超聲波的振動頻率：頻率越高，液中產生空穴的所需的聲強也增大，低頻率時，易產生空穴，而且空穴生長的時間間隙較大，空穴直徑增大，空化效應增強，缺點時噪聲大，且易對脆弱制品（如樹脂類材質）造成損傷；高頻時，空化效應減弱，噪聲低，傳遞距離減小，主要靠超聲波的能量作用洗凈，易于穿透小孔深孔。
3）洗凈液的性質：表面張力大的液體空化效應強，粘度大、蒸汽壓高的液體空化效應弱。
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